| 1 |
电力 |
AC380V
3Φ 50HZ 54A 26KVA |
| 2 |
光源系统 |
7KW 卤化金属灯× 2 支 |
| 3 |
有效曝光面积 |
MAX. 610L × 916W (18”× 24”× 2 片) |
| 4 |
曝光框架 |
MYLAR 薄膜对玻璃吸真空 |
| 5 |
冷却水源 |
10 吨之冷却水塔,水流量120L/min (机台出入水端之流量) |
| 6 |
灯管冷却方式 |
灯头部份为空气冷却,灯管部份为间接水冷 |
| 7 |
曝光台面冷却方式 |
强制气冷可作温度控制 |
| 8 |
曝光能量控制 |
LCD 显示型UV 能量积算器 |
| 9 |
监控系统 |
自我诊断功能及异常讯息显示 |
| 10 |
机台外尺寸 |
宽1420 ×深2800 ×高1700 mm+100 mm |
| 11 |
重量 |
1450 公斤 |
| 12 |
气压源 |
操作压力2kgf/cm2以上 |